SAIKASI/赛卡司 CL50双频激光干涉仪

产品供货：普迈科技发布日期：2024-02-01 16:52:55

简介

CL50双频激光⼲涉仪技术采⽤直接输出线偏振光双频激光器，⽆圆偏振光转线偏振⾮线性误差，⽆圆偏振光转线偏振光⾮线性误差,频差⼤,功率⾼。

双频激光测量系统与单频激光测量系统相⽐，拥有更强的抗⼲扰性和更好的重复性。双频激光测试系统⾃⾯世以来，⼀直代表着⻓度测试的最⾼⽔准，其稳定的重复性和⾼精度得到业界公认，主要⽤于精度要求极⾼的芯⽚光刻机、各种计量检测和⾼端机床装备制造领域。

技术特点

· 采⽤直接输出正交线偏振光，无圆偏振光转线偏振光非线性误差。

· ⼤频差，高测速，频差⼤于6MHz±1MHz，测量速度可达2m/s

· ⼤功率，功率>0.5mW,测量距离远,可同时测量更多轴(多轴测量系统)。

· ⼩体积便携式设计，⼈性化操作结构，⽅便易⽤。

· 售后保障及时、可靠。

技术参数

产品目录